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核工業部新型加熱器的選型要求

作者:常州市美特儀器????來源:新聞部????發布時間:2019-08-24 14:44????瀏覽量:

日前,常州市美特儀器制造有限公司為核工業部微電子研究所設計的新型加熱器成功交付。其UV  BAKE選型技術要求如下:1、選用一板狀加熱器BAKE  PLATE(HOT  CHUNCK)用于光掩膜PHOTOMASK的清潔工業。2、板面尺寸φ150X150左右,加熱面光潔度不小于Ra3.2平面度,公差不大于0.15。3、zui高控制溫度250℃。4、加熱板加熱面溫度分布梯度±0.6℃。5、加熱板板面溫度控制精度±0.5℃。6、加熱板在真空狀態下工作不允許產生揮發性物資和浮沉霧霾樣顆粒。7、加熱系統可以與設備主控制計算機系統聯動。8、加熱板和控制附件可以無故障工作時間大于2年。常州市美特儀器制造有限公司技術部

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